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    PEM氣體控制系統

    PEM氣體控制系統

    作者:生波爾SMEE    來源:生波爾SMEE    發布時間:2019-04-10    瀏覽量:
    通過等離子體發射光譜監測來控制氣體流量和電壓,控制優化反應濺射的狀態,從而獲得最佳的沉積速率與膜層質量。
     
     

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